Turning the undesired voids in silicon into a tool: In-situ fabrication of free-standing 3C-SiC membranes - Université de Tours Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2017
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Dates et versions

hal-01741061 , version 1 (22-03-2018)

Identifiants

Citer

Rami Khazaka, Jean-François Michaud, Philippe Vennegues, Daniel Alquier, Marc Portail. Turning the undesired voids in silicon into a tool: In-situ fabrication of free-standing 3C-SiC membranes. Applied Physics Letters, 2017, 110 (8), ⟨10.1063/1.4977033⟩. ⟨hal-01741061⟩
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