Multistep magnetron sputtering process and in-situ heat treatment to manufacture thick, fully oxidized and well crystallized YSZ films - Université de Tours
Article Dans Une Revue Surface and Coatings Technology Année : 2018

Multistep magnetron sputtering process and in-situ heat treatment to manufacture thick, fully oxidized and well crystallized YSZ films

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Caroline Richard  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://univ-tours.hal.science/hal-01857023

Soumis le : mardi 14 août 2018-08:16:21

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-12:00:03

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Dates et versions

hal-01857023 , version 1 (14-08-2018)

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Citer

Pierre Coddet, Amaël Caillard, Julien Vulliet, Caroline Richard, Anne-Lise Thomann. Multistep magnetron sputtering process and in-situ heat treatment to manufacture thick, fully oxidized and well crystallized YSZ films. Surface and Coatings Technology, 2018, 349, pp.133 - 143. ⟨10.1016/j.surfcoat.2018.05.065⟩. ⟨hal-01857023⟩

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