Deep trench etching combining aluminium thermomigration and electrochemical silicon dissolution
Gaël Gautier
(1)
,
Laurent Ventura
(1)
,
Robert Jerisian
(1)
,
Sébastien Kouassi
(2)
,
Chantal Leborgne
(2)
,
Benjamin Morillon
(3)
,
M. Roy
(3)
Gaël Gautier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18457
- IdHAL : gael-gautier
- ORCID : 0000-0002-6854-7040
- IdRef : 069994293