Cubic silicon carbide (3C-SiC) MEMS for gas detection - Université de Tours Access content directly
Conference Papers Year : 2023

Cubic silicon carbide (3C-SiC) MEMS for gas detection

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hal-04515241 , version 1 (28-03-2024)

Identifiers

  • HAL Id : hal-04515241 , version 1

Cite

Jean-François Michaud, Marc Portail, Daniel Alquier, Dominique Certon, Isabelle Dufour. Cubic silicon carbide (3C-SiC) MEMS for gas detection. WOCSDICE - EXMATEC, May 2023, Palerme (Italie), France. ⟨hal-04515241⟩
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