Cubic silicon carbide (3C-SiC) MEMS for gas detection - Université de Tours
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Cubic silicon carbide (3C-SiC) MEMS for gas detection

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Jean-François Michaud  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://univ-tours.hal.science/hal-04515241

Soumis le : jeudi 28 mars 2024-16:51:54

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-18:28:03

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hal-04515241 , version 1 (28-03-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04515241 , version 1

Citer

Jean-François Michaud, Marc Portail, Daniel Alquier, Dominique Certon, Isabelle Dufour. Cubic silicon carbide (3C-SiC) MEMS for gas detection. WOCSDICE - EXMATEC, May 2023, Palerme (Italie), France. ⟨hal-04515241⟩

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